Skip to main navigation menu Skip to main content Skip to site footer

Chemistry, Chemical engineering and Bioengineering

May 26, 2023; Boston, USA: IV International Scientific and Practical Conference «SCIENTIFIC PRACTICE: MODERN AND CLASSICAL RESEARCH METHODS»


ВПЛИВ ГІДРОДИНАМІЧНИХ УМОВ НА ПАРАМЕТРИ ХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ


DOI
https://doi.org/10.36074/logos-26.05.2023.035
Published
04.06.2023

Abstract

Зважаючи на швидкий розвиток технологій напівпровідникових матеріалів, вивчення впливу гідродинамічних умов на параметри хімічного травлення напівпровідникових матеріалів є надзвичайно актуальним. Оптимізація процесу отримання напівпровідникових матеріалів з високою якістю та ефективністю є надзвичайно важливою для підвищення їх конкурентоспроможності на ринку та забезпечення розвитку нових технологій.

References

  1. Перевощиков В.А. (1970). Хімічне полірування пластин кремнію в умовах підвищеної швидкості руху травника. Журн. прик. хімії 43 (7), 1487-1491.
  2. Франк-Каменецький Д.А. (2008). Основи макрокінетики. Дифузія та теплопередача в хімічній кінетиці. Довгопрудний: Інтелект, 2008.
  3. Сhayka, M. V., Tomashyk, Z. F., Tomashyk, V. M., Malanych, G. P., & Korchovyi, A.A. (2019). Optimization of bromine-emerging etching compositions K2Cr2O7 – HBr – ethylene glycol for forming a polished surface of CdTe, ZnxCd1−xTe and CdxHg1−xTe. Functional Materials 26 (1). 189-196. doi.org/10.15407/fm26.01.189.
  4. Ohno T. (1998). Surface cleaning with hydrogen plasma for low-defect-density ZnSe homoepitaxial growth. J. Vac. Sci. Technol. A. 16 (4). 2539-2545.